E Chuck
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E
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先進公司為台灣專業真空靜電吸盤,E-CHUCK,可依客戶需求進行下列設計1、出線方式→可以正面出線或背面出線。 2、吸附力強化設計→針對布料或多孔材料，強化吸附力設計。
■ 什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck?
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什麼是靜電吸盤E-Chuck? 靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間產生吸附力量的裝置。 ... (1) 為 “庫倫力型” 靜電吸盤。
什麼是靜電吸盤
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什麼是靜電吸盤(E-Chuck,ESC) ... 靜電吸盤是利用『靜電的力量』去吸附對象物的一種裝置。 靜電吸盤上存在著正電極與副電極，只是肉眼看不見。對象物被靜電吸盤吸附的狀態下 ...
產品資訊
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當靜電吸盤使用的介電層材料為半導體材料時，稱為Johnsen-Rahbek 靜電吸盤(JR ESC)。其介電質表面不僅有極化電荷，還有很大部分自由電荷，這是因為JR吸盤的介電質有一定 ...
靜電吸盤Electrostatic Chuck
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靜電吸盤的優勢
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Advantages of Electrostatic Chuck · 可於真空環境下產生吸力 · 無微粒產生 · 高平坦度 · 吸附力量均勻 · 可控制溫度 · 可用於多孔材料.
靜電吸盤的基本構造和原理
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靜電盤/ 靜電吸附盤/ ESC / Electric Static Chuck. 請稍候... 靜電吸盤的基本構造和原理. 靜電吸盤的構造和原理對很多人來說都還是很陌生的。這裡有詳細說明。 1。種類 ...
靜電吸盤解決方案
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ESC 原理是藉由施加超過1000伏的高電壓於電極承載板上產生靜電力，而使電極承載板和晶圓間產生吸附，配合冷卻裝置讓成膜/蝕刻製程能有效被控制。 優點：.
靜電盤的吸附原理
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以下介紹兩種靜電吸盤(Electrostatic chuck,E-CHUCK,ESC)常見的吸附原理。 【 庫倫力的吸附概念】. 庫倫力. 由庫倫力支配的靜電吸盤，可以藉由高壓通電來吸附對象物。而 ...